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FFU(Fan Filter Unit)是風(fēng)機(jī)和過濾器的組合，也可稱為“自帶風(fēng)機(jī)的過濾設(shè)備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機(jī)模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級(jí)的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。